MEMS技術特征：

• 微型化
  、以矽為主要材料
• 機械電氣性能優良
  、可批量生產、集成化
• 多學科交叉
  、多技術融合的特點

MEMS技術的應用範圍：

• 開辟了一個全新醫療電子產業

MEMS是受微電子技術啟發並在其基礎上發展起來的，是微電子加工技術和多種微機械加工技術相融合而形成的微型係統。完整的MEMS是由感知外界信息(力、熱、光、生

、磁、化等)的微傳感器、控製對象的微執行器、信號處理和控製電路、通訊接口和電源等部件組成的一體化的微型器件係統。MEMS具有集成電路係統的許多優點，如微型化、以矽為主要材料，機械電氣性能優良
、可批量生產、集成化等
，同時又集約了機械、材料、信息與自動控製、物理、化學和生物等多種學科發展的尖端成果，具有多學科交叉，多技術融合的特點。

在醫療電子應用領域，MEMS技術的目標是把信息的獲取

、處chu理li和he執zhi行xing集ji成cheng在zai一yi起qi
，組zu成cheng具ju有you多duo功gong能neng的de微wei型xing係xi統tong

，這zhe樣yang不bu僅jin可ke以yi降jiang低di機ji電dian係xi統tong的de成cheng本ben，而er且qie還hai可ke以yi完wan成cheng大da尺chi寸cun機ji電dian係xi統tong所suo不bu能neng完wan成cheng的de任ren務wu，也ye可ke以yi嵌qian入ru大da尺chi寸cun係xi統tong中zhong，從cong而er大da幅fu度du地di提ti高gao係xi統tong的de自zi動dong化hua、智能化和可靠性水平。MEMS技術開辟了一個全新醫療電子產業。

大多數業內觀察家預測，未來5年MEMS醫療器件的銷售額將呈迅速增長之勢
，年平均增加率約為21%，因此對醫療電子產業的發展提供了極好的機遇。

MEMSyicongshiyanshizouxiangshichang，zaiyiliaodianzilingyudeyingyongriyipubian
，qichanpinbujinkaituolejiweiguangfandeyingyonglingyuqiejuyoushifenqiangdadeshichangjingzhengli，yiliaodianzihezhenduanshebeiweiMEMS的應用提供了更大的舞台。