【導讀】通過微機電係統和兩個壓力傳感器補償集成電路 (IC) yanshileyongyushenghuaheyiliaomudedeweiliutiliuliangceliang。liutideliusukeyitongguojingmijiagongtongdaoshangdeyajianglaiqueding。zhenggezujiananzhuangzaiyigexiaoxingtaocihunhezujianshang。

通過微機電係統和兩個壓力傳感器補償集成電路 (IC) yanshileyongyushenghuaheyiliaomudedeweiliutiliuliangceliang。liutideliusukeyitongguojingmijiagongtongdaoshangdeyajianglaiqueding。zhenggezujiananzhuangzaiyigexiaoxingtaocihunhezujianshang。

流體分析在當前的廣泛應用中至關重要。生物學、醫學分析、基因工程和許多其他領域都依賴於快速、和可重複的化學和生物分析。自動化流體樣品定量和分析的工具對於經濟實惠的性能至關重要。

高(gao)度(du)化(hua)的(de)電(dian)子(zi)傳(chuan)感(gan)器(qi)被(bei)設(she)計(ji)用(yong)於(yu)自(zi)動(dong)化(hua)樣(yang)品(pin)分(fen)析(xi)，但(dan)液(ye)體(ti)的(de)計(ji)量(liang)仍(reng)然(ran)是(shi)一(yi)個(ge)突(tu)出(chu)的(de)問(wen)題(ti)，必(bi)須(xu)以(yi)物(wu)理(li)方(fang)式(shi)完(wan)成(cheng)。該(gai)操(cao)作(zuo)通(tong)常(chang)通(tong)過(guo)由(you)步(bu)進(jin)電(dian)機(ji)驅(qu)動(dong)的(de)專(zhuan)用(yong)微(wei)型(xing)注(zhu)射(she)器(qi)來(lai)完(wan)成(cheng)。很(hen)容(rong)易(yi)想(xiang)象(xiang)與(yu)此(ci)類(lei)設(she)置(zhi)相(xiang)關(guan)的(de)難(nan)度(du)和(he)費(fei)用(yong)。

為了解決這個問題

，DASA IMT 和 Seyonic SA（均位於瑞士納沙泰爾）開發了流通式微流體計量，作為太空實驗工具包的一部分。如下所述
，該設計的關鍵要素是微流量傳感器裝置。要求是：

小尺寸
化學惰性
溫度穩定性
長期穩定
簡單

、輕鬆且全自動的重新校準
線性電壓-壓力輸出

測ce量liang微wei流liu體ti流liu動dong的de一yi種zhong方fang法fa是shi測ce量liang集ji成cheng到dao微wei流liu通tong道dao中zhong的de限xian製zhi件jian上shang的de壓ya差cha。壓ya力li測ce量liang通tong過guo雙shuang壓ya阻zu壓ya力li傳chuan感gan器qi進jin行xing，一yi個ge放fang置zhi在zai限xian製zhi之zhi前qian，另ling一yi個ge放fang置zhi在zai限xian製zhi之zhi後hou。為wei了le確que保bao傳chuan感gan器qi不bu受shou化hua學xue侵qin蝕shi性xing流liu體ti的de影ying響xiang或huo改gai變bian，加jia壓ya流liu體ti施shi加jia到dao傳chuan感gan器qi膜mo片pian的de背bei麵mian（其單晶矽對化學物質相對不敏感）而(er)不(bu)是(shi)正(zheng)麵(mian)。這(zhe)種(zhong)不(bu)尋(xun)常(chang)的(de)配(pei)置(zhi)通(tong)過(guo)屏(ping)蔽(bi)液(ye)體(ti)來(lai)保(bao)護(hu)傳(chuan)感(gan)器(qi)頂(ding)部(bu)敏(min)感(gan)的(de)微(wei)電(dian)子(zi)電(dian)路(lu)。為(wei)了(le)防(fang)止(zhi)機(ji)械(xie)張(zhang)力(li)產(chan)生(sheng)誤(wu)差(cha)
，傳(chuan)感(gan)器(qi)安(an)裝(zhuang)在(zai)厚(hou)陶(tao)瓷(ci)基(ji)板(ban)上(shang)（圖 1）。

yazuyalichuanganqijuyouchusedelingminduhezaixianxing，dantamenduihuanjingwendudebianhuafeichangmingan。zhidaojin，haimeiyoubanfazaishixianweiliutiliuliangchuangansuoxudexiaochicunhekuaisuxiangyingdetongshibuchangzhexiewucha。gaiwentidejiejuefanganzhiyishixinxing MAX1458 傳感器信號處理器，它可以補償壓阻傳感器的初始誤差和溫度相關誤差。圖 2 將未經校正的傳感器的輸出與使用該 IC 補償的相同輸出進行了比較。

數字和用戶可編程寄存器對模擬信號路徑執行完全電子補償。對於環境溫度變化較大的應用
，如-40°C至+125°C汽車溫度範圍，MAX1458可提供優於1%的總輸出精度。對於更有限的量程，例如 +15°C 至 +45°C，總壓力精度接近 0.1%。

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