【導讀】MEMS是以微電子技術為基礎，采用矽微加工技術、光刻鑄造成型(LIGA)和精密機械加工等多種微加工技術製作的，關鍵尺寸在亞微米至亞毫米範圍內的微傳感器、微執行器和微係統的總稱。

MEMS是以微電子技術為基礎，采用矽微加工技術


、光刻鑄造成型(LIGA)和精密機械加工等多種微加工技術製作的，關鍵尺寸在亞微米至亞毫米範圍內的微傳感器、微執行器和微係統的總稱。其中MEMS動態測試技術，因其能夠測試MEMS三維運動，分析MEMS動態特性、材料特性以及機械力學參數等關鍵數據
，已成為MEMS測試技術的重要組成部分。而研究如何在MEMS運動過程中記錄瞬間運動狀態，並恢複MEMS表麵的離麵運動曆程，則是MEMS動態測試技術實現離麵運動測量的關鍵。

MEMS模型

MEMS離麵運動測試係統首先通過頻閃同步信號編輯和控製軟件命令任意波形發生器產生激勵波形

、頻閃照明信號和控製信號，激勵信號通過同軸電纜經高壓放大器驅動MEMS運動，頻閃照明信號經頻閃驅動電路實現LED的頻閃照明，控製信號則負責命令和協調CCD攝像機
、圖像采集卡和納米定位儀的工作; CCD攝像機捕捉到的物體運動瞬間圖像由圖像采集卡采集並存儲在計算機指定的存儲區內,供後續的數據處理使用。在獲得完整的物體運動圖像之後,係統轉入數據處理階段,主要由圖像數據後續處理軟件完成,最終將得到諸如物體表麵某點運動軌跡曲線或某個局部區域的運動狀態圖等實驗結果。

MEMS離麵運動測試係統功能框圖

AigtekATA-4000係列高壓放大器在MEMS測試領域有著廣泛的應用，其中常被應用在相顯微幹涉技術，微型傳感器技術等。ATA-4000係列高壓放大器最大輸出功率452Wp ，最大輸出電壓310Vp-p（±155Vp） ，最大輸出電流4Arms
，帶寬高達DC~3MHz。

免責聲明：本文為轉載文章，轉載此文目的在於傳遞更多信息，版權歸原作者所有。本文所用視頻、圖片、文字如涉及作品版權問題，請電話或者郵箱聯係小編進行侵刪。

推薦閱讀：

使用多路複用器在伺服驅動控製模塊中優化保護和精度特性

2022第二十二屆中山機床模具及塑膠機械展覽會（簡稱：2022中山機械展）

2022第十一屆江門先進製造業博覽會（簡稱：江門製博會）

2022第十八屆中山小欖輕工機械展覽會

如何利用封裝天線技術簡化60GHz汽車車內雷達傳感器設計