首先以X型柱麵平凸透鏡和Y型(xing)柱(zhu)麵(mian)平(ping)凸(tu)透(tou)鏡(jing)對(dui)激(ji)光(guang)二(er)極(ji)管(guan)輸(shu)出(chu)光(guang)束(shu)慢(man)軸(zhou)和(he)快(kuai)軸(zhou)方(fang)向(xiang)進(jin)行(xing)準(zhun)直(zhi)
，然(ran)後(hou)通(tong)過(guo)一(yi)對(dui)平(ping)凸(tu)透(tou)鏡(jing)組(zu)合(he)進(jin)行(xing)擴(kuo)束(shu)
，進(jin)一(yi)步(bu)提(ti)高(gao)光(guang)束(shu)平(ping)行(xing)度(du)
，最(zui)後(hou)由(you)單(dan)片(pian)平(ping)凸(tu)透(tou)鏡(jing)將(jiang)光(guang)束(shu)聚(ju)焦(jiao)為(wei)高(gao)功(gong)率(lv)密(mi)度(du)的(de)光(guang)點(dian)。采(cai)用(yong)Light Tools軟件仿真光路、優化光學元件參數，對光學元件進行實際選型後安裝並調試光束整形係統。測試結果表明：半導體激光二極管輸出光束的67%激光能量彙聚於直徑1mm圓內，激光功率密度優於30W/cm2。

 

0 引言

 

半導體激光二極管（LD）出射光線單色性好
、功率高
、結構簡單
、重量輕

，被應用於軍事
、工業製造以及航天航空等領域。LD出射光束光軸不對稱且存在束散角

，橫截麵光強分布滿足高斯分布
，需對輸出光束進行整形。

 

LD光束整形技術根據光線傳播方式主要分為三類：折射法
、反射法、衍射法。折射法通過調節透鏡曲率半徑改變折射光束與入射光束的夾角實現光束整形。赫瑞瓦特大學Howard J Bakercaiyongdantoujingduiguangshujinxingzhengxing，jiangdantoujingbiaomianjiagongweiqumianxingzhuang。jingdantoujingzheshe，chusheguangshuhengjiemianxingzhuangchengweizhengfangxinghuochangtiaoxing，gaifangfashiyongyugaoqiangdudexiandaiguangxianjiguangqi。fanshezhengxingfajiezhuquanfansheguangxueyuanjianduiguangshuzaikuaizhou、慢軸方向上的寬度進行調整。南安普頓大學光電研究中心Clarkson等人提出采用兩個高反平麵鏡實現快
、慢兩個方向光束質量因子的均衡，將光束按照鏡間錯位距離分割
、分(fen)段(duan)重(zhong)排(pai)。然(ran)而(er)，該(gai)方(fang)法(fa)使(shi)得(de)光(guang)束(shu)在(zai)整(zheng)形(xing)器(qi)中(zhong)傳(chuan)播(bo)時(shi)相(xiang)鄰(lin)光(guang)束(shu)會(hui)發(fa)生(sheng)部(bu)分(fen)重(zhong)疊(die)，對(dui)亮(liang)度(du)提(ti)高(gao)有(you)限(xian)製(zhi)。衍(yan)射(she)整(zheng)形(xing)法(fa)可(ke)實(shi)現(xian)光(guang)束(shu)能(neng)量(liang)的(de)均(jun)勻(yun)分(fen)布(bu)，具(ju)備(bei)更(geng)大(da)的(de)自(zi)由(you)度(du)
，二(er)元(yuan)光(guang)學(xue)元(yuan)件(jian)設(she)計(ji)靈(ling)活(huo)
、對(dui)波(bo)前(qian)控(kong)製(zhi)更(geng)為(wei)精(jing)確(que)。中(zhong)國(guo)科(ke)學(xue)院(yuan)長(chang)春(chun)光(guang)學(xue)精(jing)密(mi)機(ji)械(xie)與(yu)物(wu)理(li)研(yan)究(jiu)所(suo)劉(liu)華(hua)使(shi)用(yong)衍(yan)射(she)光(guang)學(xue)元(yuan)件(jian)調(tiao)製(zhi)光(guang)束(shu)的(de)振(zhen)幅(fu)和(he)相(xiang)位(wei)，對(dui)單(dan)片(pian)折(zhe)射(she)透(tou)鏡(jing)進(jin)行(xing)離(li)子(zi)刻(ke)蝕(shi)，使(shi)之(zhi)成(cheng)為(wei)折(zhe)衍(yan)混(hun)合(he)元(yuan)件(jian)，實(shi)現(xian)光(guang)束(shu)的(de)整(zheng)形(xing)和(he)聚(ju)焦(jiao)。

 

光束整形技術改變激光束散角，使光束具備準直特征。然而在工業製造或科學研究如晶圓激光切割
、激光打孔
、激光增材製造、物質受激輻射研究中，需要對整形光束進一步聚焦
，使激光功率密度提高至每平方厘米幾十甚至上百瓦。

 

反射和衍射方法存在加工周期長
、成本高、係統結構複雜、裝調精度難以控製等問題，而折射整形光學元件光能轉換效率高、結構簡單。因此，文中基於折射法設計了先準直、擴束
、再聚焦的提高光束功率密度的方法，並搭建實際光學係統進行驗證。

 

1 LD光束特性及質量評價

 

1.1 LD光束特性

 

LD出射光束為高斯光束，其腰斑半徑在光軸方向總大於一個最小值，該最小值被稱為束腰半徑ω0，將其對應的位置z=0定義為束腰位置。

 

高斯光束波前的曲率半徑在z軸方向上的分布滿足：

 

 

對於給定波長λ的LD，其腰斑半徑在z軸方向上的分布滿足：

 

 

此時光束包絡線近似為斜率的直線
，其與z軸的夾角θ=λ/πω0為LD的束散角。

 

LD光束橫截麵示意圖如圖1所示，光束在快軸（垂直於結平麵）和慢軸（平行於結平麵）方向以不同束散角出射，其橫截麵近似為橢圓形。

 

圖1 激光二極管出射光束橫截麵形狀

 

光束沿傳播方向上的強度分布可表示為：

 

 

式中：I0為z軸上光強；θx和θy分別是光束與x-z麵和y-z麵夾角；αx和αy分別為x和y方向上高斯強度1/e2點的遠場束散角
；Gx和Gy分別是x和y方向上的“超級高斯因子”
，其值為1時
，是典型的高斯分布。對於實際LD，其快軸和慢軸方向上的超高斯因子Gx和Gy均大於1，表征實際輸出的激光束中除基模外還包含其他的高階模分量。

 

1.2 光束質量評價

斯光束的束散角與束腰半徑的乘積即光參量乘積Bpp，滿足：

 

 

式中：Bpp在光學成像係統中為不變量，光束的束腰寬度ω0與束散角θ為反比關係。

 

國際標準組織（ISO）采納光束質量因子M2作為光束質量評價方法，即：

 

 

式中：Bpp為實際光參量乘積；Bpp00為高斯光參量乘積；光束質量因子M2表征實際光束相比衍射極限（基模高斯光束）的倍數，將基模高斯光束的束散角θ0=4λ/πω0及公式（4）代入公式（6）
，則可得：

 

 

式中：基模光束的束腰寬度ω0由LD的P-N結物理結構決定；θ對應實際光束的束散角。實際的LD輸出為多模激光束，包含更多的高階模分量
，為提高其光束質量因子M2，文中通過透鏡增大光束的束腰寬度，減小束散角θ，同時在腰斑最小位置放置光闌濾除部分高階模分量。

 

2 提高功率密度的光束整形係統設計與仿真

 

2.1 光束整形係統原理框圖

根據LD光束特性以及光束評價質量標準，采用圖2所示的步驟提高功率密度的光束整形。

 

圖2 光束整形係統原理框圖

 

2.2 激光準直單元設計

 

由公式（1）可知，在瑞利距離處，高斯光束的腰斑半徑為束腰半徑的√2倍bei
，實shi際ji使shi用yong中zhong認ren為wei高gao斯si光guang束shu在zai瑞rui利li距ju離li內nei可ke看kan作zuo近jin似si平ping行xing光guang，也ye稱cheng瑞rui利li距ju離li為wei準zhun直zhi距ju離li
，因yin此ci通tong過guo透tou鏡jing變bian換huan增zeng加jia高gao斯si光guang束shu的de束shu腰yao半ban徑jing，可ke以yi獲huo得de較jiao長chang的de準zhun直zhi距ju離li。

 

由於LD出射光束為橢圓形狀，文中提出一種X型柱麵平凸透鏡結合Y型柱麵平凸透鏡的方式進行準直。如圖3所示，首先對慢軸光束進行準直，光束橫截麵形狀長寬比值為z軸坐標值的函數，在光斑長寬比最接近1的坐標處放置快軸準直透鏡，使準直後的光束能量均勻分布於光學元件中心。

 

圖3 柱麵透鏡對LD光束準直示意圖

 

設圖3中X型柱麵鏡為薄透鏡
，焦距為fx，且焦點位於LD高斯光束的束腰位置，由公式（1）、（2）可得，在透鏡處的入射光束波前曲率半徑及腰斑半徑為：

 

 

又由透鏡對球麵波（柱麵波）的變換公式：

 

 

可得到經過X型柱麵鏡準直後的出射光束的束腰半徑、束腰位置及束散角：

 

 

同理，對於Y型柱麵鏡，可得準直後的出射光束的束腰半徑、位置及束散角：

 

 

由此可知對於柱麵準直透鏡
，焦距f越大
，準直後的出射光束束腰半徑越大且束散角越小。為實現光束的進一步整形，應使得快軸
、慢軸方向的光束在準直後束腰半徑、束散角盡可能相近，由公式（10）
、（11）可得X、Y型柱麵鏡的焦距關係需滿足：

 

 

同時要使X、Y方向準直後的出射光束束腰位置也盡可能接近
，應滿足：

 

 

由公式（4）可知，透鏡焦距fyueda

，zhunzhihouchusheguangshudeshusanjiaoyuexiao
，dantongshirusheguangshuzaitoujingchudeyaobanbanjingyueda，zheshidetoujingdezhijinghehouduzengda

，buzaimanzubotoujingjiashe
，daozhichusheguangshudeqiuchazengjia，jiangdiguangshuzhiliang。wenzhonggenjujingyangongshishezhizhumianjingjiaojuhezhijing，ruzhumianjinggaodukequwei20~25mm
、透鏡直徑的85%為光束有效準直範圍等。

 

2.3 激光擴束單元設計

 

準直單元改善光束的長寬比和平行度，但柱麵透鏡尺寸較小，導致準直光束腰斑較小。根據2.1節光參乘積不變原理可知，準直光束仍存在束散角，為進一步壓縮準直光束的束散角，文中在準直單元後引入激光擴束單元。

 

激光擴束鏡按照組合透鏡類型分為兩種：開普勒式擴束鏡和伽利略式擴束鏡。如圖4（a）所示，開普勒式擴束鏡由一片輸入正透鏡和一片輸出正透鏡以共焦形式組合而成。如圖4（b）所示，伽利略式擴束鏡由一片輸入負透鏡和一片輸出正透鏡以虛共焦形式組合而成，輸入透鏡將虛焦點光束傳遞給輸出透鏡。

 

圖4（a）開普勒式擴束鏡；（b）伽利略式擴束鏡

 

對比兩種擴束鏡共焦方式：在開普勒式擴束鏡的焦點處增加針孔光闌，可濾除外界雜散光並截取光場能量的均勻部分，同時濾除LD光束中部分高階模分量，提高光束質量因子M2，而伽利略式擴束鏡的虛共焦方式導致其無法實現該效果。因此
，文中選擇開普勒式擴束鏡進行激光擴束，如圖4（a）所示，柱麵組合透鏡出射的準直光束以束散角θ0′、束腰半徑ω0′輸入擴束單元，束腰位置與輸入透鏡L1距離為l1，此時f1<<l1，由公式（8）可得L1的輸出光束為：

 

 

輸出透鏡L2的焦距為f2，其焦點位於ω0″處，由公式（8）可知，擴束單元輸出光束的束腰半徑及位置為：

 

 

開普勒式擴束鏡對光束的擴束倍率為：

 

 

式中：M=f2/f1

；θ0′為入射光束發散角
；θ0′′′為出射光束發散角；ω（l）為L1前表麵光斑半徑。

 

2.4 激光聚焦單元

 

對激光束進行聚焦可在焦點位置得到高斯光束的最小腰斑，提高光束的功率密度。

 

對於給定的聚焦透鏡L3
，設其焦距為f3，由公式（8）可得：

 

 

此時若滿足πω0′′′′2／λ>>f3
，且l3>>f3，則可使用焦距較短的透鏡進行聚焦
，在距離擴束單元出射光束束腰位置較遠的位置處，公式（17）可近似為：

 

 

 

 

將公式（18）代入激光功率密度公式：

 

 

即可求得整形後的激光功率密度。文中根據期望達到的功率密度範圍
，逆向對聚焦單元、擴束單元和準直單元進行仿真和優化。

 

2.5 光束整形係統仿真及其結果

 

采用Light Tools軟件對光束整形係統進行仿真，以日亞NDB7K75型激光二極管為例，根據表1參數設置LD光源中心波長448nm，光束慢軸和快軸方向束散角分別為14°、46°，並根據實際功率需要設置光源出射功率為376mW。

 

表1 NDB7K75激光二極管參數

 

仿真時使用SIGMA KOKI公司生產的透鏡，表2列出了透鏡的參數
，其中f為焦距
，r為曲率半徑
，A×B為柱麵透鏡長×寬
，D為球麵透鏡直徑，te為透鏡邊緣厚度
，tc為透鏡中心厚度。

 

表2 透鏡參數（參考波長546.1nm）

 

平凸透鏡無限遠共軛成像具有如下特點：（1）用於聚焦光線時
，平行光從凸麵一側入射
，球差較小
，成像更清晰，即焦點光斑較小；（2）把點光源變成平行光時，光線由平麵一側入射可得到更高平行度出射光線。依據以上成像特點設定光路中各平凸透鏡放置方向。

 

調用仿真軟件內部聚焦、準直評價函數
，將光學元件的坐標值添加為優化變量進行優化
，結果如圖5所示

，其中的黑色實線代表光線追跡效果，Lx和Ly透鏡分別為慢軸準直透鏡和快軸準直透鏡，二者組成準直單元
，L1和L2組合為擴束單元，L3為聚焦透鏡。

 

圖5 光學係統空間坐標及光線追跡

 

圖6和圖7分別為LD光束經擴束單元擴束後在距離光源50cm和2500cm處的橫截麵功率分布，光斑半徑分別為41、47cm，小於√2倍束腰半徑，處於瑞利距離，說明光束平行度得到進一步提高。如圖8所示
，光束整形係統將LD光束功率彙聚於透鏡焦點處4mm直徑腰斑，說明激光功率密度得到提高。

 

圖6 擴束鏡出射光束在距離LD光源50cm處功率密度分布

 

圖7 擴束鏡出射光束在距離LD光源2500cm處功率密度分布

 

圖8 光束在彙聚透鏡焦點處功率密度分布

 

3 光束整形係統

 

實驗根據仿真優化的光學元件間距，搭建光路平台進行實物驗證，如圖9所示，從左至右依次為LD驅動電源（通過調節驅動電壓可連續調節激光二極管輸出功率）

、LD、慢軸準直柱麵透鏡、快軸準直柱麵透鏡、擴束單元入射透鏡、擴束單元出射透鏡及聚焦透鏡。

 

圖9激光二極管光束整形係統

 

LD如圖10（a）所示，其安裝了散熱銅柱並固定在俯仰角

、方位角可調的夾持器上（見圖10（b））。

 

圖10 （a）半導體激光二極管；（b）裝配散熱銅柱及可調底座

 

圖11（a）、（b）分別為LD出射光束經過擴束單元後在50、2500cm處的光斑形狀
，說明LD光束經過擴束後，平行度得到改善。

 

圖11 LD光束經準直及擴束後在（a）50cm和（b）2500cm處光斑形狀

 

實驗時，對LD加載4.0V的偏置電壓，使用激光功率計測量LD的輸出功率為376mW。為wei獲huo得de光guang束shu整zheng形xing後hou的de功gong率lv密mi度du
，以yi光guang斑ban中zhong心xin為wei圓yuan心xin
，測ce量liang不bu同tong直zhi徑jing圓yuan內nei多duo個ge點dian的de激ji光guang功gong率lv並bing取qu平ping均jun值zhi，通tong過guo差cha分fen計ji算suan出chu相xiang鄰lin同tong心xin圓yuan所suo形xing成cheng的de圓yuan環huan內nei激ji光guang功gong率lv及ji圓yuan環huan麵mian積ji
，二er者zhe求qiu比bi值zhi，得de到dao不bu同tong圓yuan環huan內nei的de平ping均jun激ji光guang功gong率lv密mi度du。文wen中zhong測ce量liang的de光guang斑ban直zhi徑jing為wei1.00、1.25、1.50
、1.75、2.00、2.25
、2.50mm。圖12橙cheng線xian為wei平ping均jun激ji光guang功gong率lv密mi度du離li散san值zhi所suo繪hui製zhi的de折zhe線xian圖tu
，其qi趨qu勢shi表biao明ming光guang斑ban半ban徑jing越yue大da，激ji光guang功gong率lv密mi度du越yue小xiao。藍lan線xian為wei擬ni合he離li散san數shu據ju，為wei高gao斯si曲qu線xian


，近jin似si代dai表biao聚ju焦jiao透tou鏡jing焦jiao點dian處chu光guang斑ban功gong率lv密mi度du的de整zheng體ti分fen布bu。圖tu13是不同光斑直徑下激光功率仿真結果（藍色曲線）與實驗結果（藍色折線）的對比，實驗結果與仿真結果基本吻合。紅色折線為不同直徑光斑內激光功率同二極管輸出總功率之比。由圖13可知
，1mm直徑圓內激光功率為252mW，約占LD出射光束總功率的67%。說明光束整形係統在實現提高激光功率密度的同時具備較高的功率傳輸效率。

 

圖12 光束功率密度離散點擬合為高斯曲線

 

圖13 激光功率同光斑直徑函數關係

 

4 結論

 

提出並實驗驗證了一種提高激光功率密度的光束整形方法


，使用準直、擴束及聚焦單元的設計思路，成功地將半導體激光二極管67%的能量彙聚於直徑1mm的圓內，激光功率密度優於30W/cm2。這說明文中設計的LD光學整形係統功率傳輸效率高，采用分立光學元件實現的光束整形係統結構簡單、易於搭建
，具有較高的應用價值。

 

本文內容轉載自《紅外與激光工程》2019年第8期

，版權歸《紅外與激光工程》所有。

辛光澤
，陳東啟，蔡毅，白廷柱，王嶺雪

北京理工大學光電學院納米光子學與超精密光電係統北京市重點實驗室