第3講:SiC的晶體結構
發布時間:2024-08-16 責任編輯:lina
【導讀】SiC是由矽(Si)和碳(C)按1:1的化學計量比組成的晶體,因其內部結構堆積順序的不同,形成不同的SiC多型體,本篇章帶你了解SiC的晶體結構及其可能存在的晶體缺陷。
SiC是由矽(Si)和碳(C)按1:1的化學計量比組成的晶體,因其內部結構堆積順序的不同,形成不同的SiC多型體,本篇章帶你了解SiC的晶體結構及其可能存在的晶體缺陷。
半導體SiC是由矽(Si)和碳(C)按1:1的化學計量比組成的晶體,屬於化合物半導體的一種。矽和碳都是IV族元素,每個原子都有4個共價鍵,矽和碳以四麵體交替配位結合形成晶體。
一對Si原子和C原子組成基本結構單元,這些結構單元以最緊密堆積起來組成SiC晶體。SiC存在許多具有不同堆積順序的穩定晶體(晶體多型現象)。圖1顯示了由Si原子和Cyuanzizuchengdejibenjiegoudanyuanpingpuchengpingmian,bingyizuijinmidefangshiduijideqingkuang。dangzaimeigepingmianjiegoushangduijiqitapingmianjiegoushi,youliangzhongkenengdeduijishunxu(可在A平麵上的B點或C點堆積)。SiC存在多種可能的堆積順序,因此存在具有不同堆積結構的晶體。並且堆積順序的不同導致的能量差異相對較小。
圖1:平麵排列的Si-C基本結構單元,以及在其上堆積結構單元時的位置
代表性的SiC晶體多型有3C型、4H型和6H型等。這裏的數字表示沿著堆積方向一周期內的碳矽雙原子層數,C代表立方晶係(cubic),H代表六方晶係(hexagonal)。SiC晶體製造過程中,由於溫度等條件的不同,決定所形成的多型體。4H型SiC的堆積順序如圖2所示,表1總結了各種多型體的堆積順序。

圖2:4H型SiC的堆積順序

表1:SiC各種多型體的堆積順序
SiC具有間接躍遷型能帶結構,並且不同多型體具有不同的禁帶寬度。例如,以4H型SiC為例,其禁帶寬度為3.26eV,是Si的大約3倍。順便說一下,可見光的能量範圍是1.7eV~3.3eV,高純度的4H型SiC晶體對可見光是透明的。為什麼用於器件製造的SiC晶體會呈現出黃色或綠色?高濃度n型摻雜SiC晶體在導帶中存在大量載流子(電子),由於能帶結構的原因,它們會吸收特定能量的可見光。
半導體的禁帶寬度通常會隨著原子間距的減小而增大。例如,SiC的禁帶寬度大於Si(1.1eV),小於C(金剛石)(5.5eV)。此外,GaN的原子間距離(0.192nm)和SiC的原子間距離(0.189nm)相近,因此兩者的禁帶寬度也接近(GaN為3.4eV)。jindaikuandudayiweizhedianzijifacongjiadaidaodaodaisuoxudenengliangda,huanyanzhi,daozhigonglvqijianfashengnaiyajichuandedianchanggengda。yinci,yugonglvqijiandezhuliucailiaoSi相比,SiC具有耐高壓的特性,是功率器件的理想選擇。表2列出了SiC的各種多型體的禁帶寬度。
表2:SiC不同多型體的禁帶寬度
在現存的穩定多型體中,用於電力轉換的功率器件通常采用4H型SiC,其擊穿電場強度大、各向異性小。目前市場上用於功率器件的SiC襯底幾乎全部采用n型導電的4H型結構,在偏離(0001)麵4°製造器件。
在SiC晶體內部,有時會存在局部Si-C層的堆積順序發生晶體缺陷(堆垛層錯)。當堆積順序改變時,導帶和價帶的能級也會發生變化。例如,在4H型SiC中,如果部分區域出現其他堆積順序,該區域的禁帶寬度將小於周圍區域,從而形成矩形勢阱(圖3)。當雙極性電流通過時,載流子(電子、空穴)會被捕獲,從而影響SiC器件的導電性(例如增加導通電阻等)。在製造器件時,必須考慮到這一點。三菱電機通過各種測試和獨特的器件結構設計來應對這一問題。
圖3:SiC的能帶結構(左)、引入堆垛層錯後的能帶結構(右)
關於三菱電機
三菱電機創立於1921年,是全球知名的綜合性企業。截止2024年3月31日的財年,集團營收52579億日元(約合美元348億)。作為一家技術主導型企業,三菱電機擁有多項專利技術,並憑借強大的技術實力和良好的企業信譽在全球的電力設備、通信設備、工業自動化、電子元器件、家電等市場占據重要地位。尤其在電子元器件市場,三菱電機從事開發和生產半導體已有68年。其半導體產品更是在變頻家電、軌道牽引、工業與新能源、電動汽車、模擬/數字通訊以及有線/無線通訊等領域得到了廣泛的應用。
文章來源:三菱電機半導體
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