隨著“物聯網”
、“智慧城市”、“智能交通”等概念的興起,及全球信息數據采集需求的旺盛,MEMS傳感器的應用變得無所不在。

 

 

 

微機電係統（MEMS），在歐洲也被稱為微係統技術
，或在日本被稱為微機械，是一類器件
，其特點是尺寸很小
，製造方式特殊。MEMS器件的特征長度從1毫米到1微米——1微米可是要比人們頭發的直徑小很多。

 

MEMS往往會采用常見的機械零件和工具所對應微觀模擬元件
，例如它們可能包含通道
、孔、懸臂、膜、腔以及其它結構。然而，MEMS器件加工技術並非機械式。相反，它們采用類似於集成電路批處理式的微製造技術。 

 

 

以麥克風為例我們來更清晰地認識一下傳統麥克風和MEMS麥克風的區別：

 

傳統的駐極體麥克風

 

MEMS麥克風

 

諸如最典型的半導體發展曆史：從 20 世紀初在英國物理學家弗萊明手下發明的第一個電子管，到 1943 年擁有 17468 個電子三極管的 ENIAC 和 1954 年誕生裝有 800 個晶體管的計算機 TRADIC，到 1954 年飛兆半導體發明了平麵工藝使得集成電路可以量產，從而誕生了 1964 年具有裏程碑意義的首款使用集成電路的計算機 IBM 360。模擬量到數字化
、大體積到小型化以及隨之而來的高度集成化

，是所有近現代化產業發展前進的永恒追求。MEMS也不例外。正因為 MEMS 擁yong有you如ru此ci眾zhong多duo跨kua世shi代dai的de優you勢shi，目mu前qian來lai看kan我wo們men認ren為wei其qi是shi替ti代dai傳chuan統tong傳chuan感gan器qi的de唯wei一yi可ke能neng選xuan擇ze

，也ye可ke能neng是shi未wei來lai構gou築zhu物wu聯lian網wang感gan知zhi層ceng傳chuan感gan器qi最zui主zhu要yao的de選xuan擇ze之zhi一yi。

 

微型化： MEMS 器件體積小
，一般單個 MEMS 傳感器的尺寸以毫米甚至微米為計量單位，重量輕
、耗能低。同時微型化以後的機械部件具有慣性小、諧振頻率高、響應時間短等優點。 MEMS 更高的表麵體積比（表麵積比體積）可以提高表麵傳感器的敏感程度。

 

矽基加工工藝 : 可兼容傳統 IC 生產工藝：矽的強度、硬度和楊氏模量與鐵相當
，密度類似鋁

，熱傳導率接近鉬和鎢，同時可以很大程度上兼容矽基加工工藝。

 

批量生產：以單個 5mm*5mm 尺寸的 MEMS 傳感器為例
，用矽微加工工藝在一片 8 英寸的矽片晶元上可同時切割出大約 1000 個 MEMS 芯片，批量生產可**降低單個 MEMS 的生產成本。

 

集成化：一般來說，單顆 MEMS 往往在封裝機械傳感器的同時，還會集成ASIC 芯片，控製 MEMS 芯片以及轉換模擬量為數字量輸出。

 

多學科交叉： MEMS 涉及電子、機械
、材料
、製造
、信息與自動控製
、物理

、化學和生物等多種學科
，並集約了當今科學技術發展的許多尖端成果。MEMS 是構築物聯網的基礎物理感知層傳感器的最主要選擇之一。

 

由於物聯網特別是無線傳感器網絡對器件的物理尺寸、功耗

、成本等十分敏感，傳感器的微型化對物聯網產業的發展至關重要。 MEMS weijidianxitongjiehejianrongchuantongdebandaotigongyi，caiyongweimijishuzaixinpianshangzhizaoweixingjixie，bingjiangqiyuduiyingdianlujichengweiyigezhengtidejishu

，tashiyibandaotizhizaojishuweijichufazhanqilaide，pilianghuashengchannengmanzuwulianwangduichuanganqidejudaxuqiulianghedichengbenyaoqiu。

 

 

 

 

未來可以預見未來大規模下遊應用主要會以新的消費電子例如 AR/VR，以及物聯網例如智能駕駛

、智慧物流
、智能家居等。而傳感器做為感知層，是不可或缺的關鍵基礎物理層部分，物聯網的快速發展，將會給 MEMS 行業帶來巨大的發展紅利。

 

 

物聯網的係統架構主要包括三部分：感知層、傳輸層和應用層。

 

感知層的作用主要是獲取環境信息和物與物的交互，主要由傳感器、微處理器和 RF 無線收發器等組成；

 

傳輸層主要用於感知層之間的信息傳遞

，由包括 NB IOT、ZigBee、Thread
、藍牙等通訊協議組成
；

 

應用層主要包括雲計算、雲存儲、大數據和數據挖掘以及人機交互等軟件應用層麵構成。感知層傳感器處於整個物聯網的最底層

，是數據采集的入口
，物聯網的“心髒”
，有著巨大的發展空間。

 

隨著國內設計、製造、封測等多個環節的技術和工藝正在逐步成熟， MEMS 作為物理量連接半導體的產物，將恰逢其時的受益於物聯網產業的發展， MEMS 在消費電子、汽車電子、工業控製、軍工、智能家居
、智慧城市等領域將得到更為廣泛的應用，根據 Yole developpement 的預測， 2016-2020 年 MEMS 傳感器市場將以 13%年複合成長率增長
， 2020 年 MEMS 傳感器市場將達到 300 億美元,前景無限。

 

MEMS全球市場產值預測（億美元）

 

2015 年中國 MEMS 器件市場規模為 308 億元人民幣
，占據全球市場的三分之一。從發展速度而言
，中國 MEMS 市場增速一直快於全球市場增速。中國 MEMS 器件市場平均增速約 15 - 20%，中國集成電路市場增速約為 7 - 10%，橫向對比而言，MEMS 器件市場的增速兩倍於集成電路市場。

 

中國近年 MEMS 傳感器市場規模（億元）

 

 

MEMS 沒有一個固定成型的標準化的生產工藝流程，每一款 MEMS 都針對下遊特定的應用場合
，因而有獨特的設計和對應的封裝形式，千差萬別。

 

MEMS 產業鏈類似於傳統半導體產業，主要包括了四大部分：前端 fabless 設計環節、 ODM 代工晶圓廠生產環節、封裝測試到下遊最終應用的四大環節。

 

MEMS產業鏈劃分

 

全球前十名 MEMS 廠商主要包括博世、意法半導體、惠普、德州儀器

、佳能

、InvenSense、 Avago 和 Qorvo

、樓氏電子

、鬆下等等。其中 BOSCH 因為其在汽車電子和消費電子的雙重布局，牢牢占據著行業的第一的位置，其營收約占五大公司合計營收的三分之一。

 

大部分 MEMS 行業的主要廠商是以 Fabless 為主，例如樓氏、 HP
、佳能等。同時，平行的也有 IDM 廠商垂直參與到整條產業鏈的各個環節
，比如 Bosch、 ST等都建有自己的晶元代工生產線。

 

全球主要 MEMS 廠商的生產模式定位

 

基於之前闡述的 MEMS 本身區別於傳統 IC 產業特征，我們認為行業的核心門檻在於兩點：設計理念和封測工藝。

 

MEMS成本結構拆分

 

 

 

微機電係統的生產製造涵蓋設計
、製造和封測。由於係統器件具有高度定製化、製程控製與材質特殊的特點，封裝與測試環節至少占到整個成本的 60%。因此，為了能夠在日益嚴峻的產品價格下跌趨勢下有效降低成本
，多數無晶圓或輕晶圓MEMS 供應商將封裝與測試環節外包給專業封測廠商

，這也將為 MEMS 器件封裝及測試廠商帶來機遇。

 

 

國內 MEMS 行業的 fabless 規gui模mo相xiang對dui較jiao小xiao
，但dan市shi場chang規gui模mo來lai說shuo具ju備bei很hen大da的de發fa展zhan空kong間jian。麵mian對dui國guo內nei巨ju大da的de消xiao費fei電dian子zi市shi場chang

，自zi產chan自zi銷xiao滿man足zu國guo內nei部bu分fen中zhong低di端duan市shi場chang需xu求qiu
，也ye是shi國guo內nei Fabless 司的一個捷徑。

 

中國 MEMS 設計企業主要集中於華東地區，約占全國企業總數的 55%，其中，以上海、蘇州、無錫三地為產業集中地：

 

上海：深迪，矽睿，麗恒，芯敏，微聯
，銘動，文襄
，天英，巨哥

 

蘇州：明皜，敏芯，雙橋
，多維，能斯達，汶灝，聖賽諾爾
，希美

 

無錫：美新，樂爾，康森斯克，微奧，傑德，必創，微納
，芯奧微，沃浦

 

其他：深圳瑞聲，山東歌爾
，河北美泰，山西科泰，鄭州煒盛，北京水木智芯，浙江大立
，武漢高德，成都國騰，西安勵德，天津微納芯等。

 

國內 MEMS 企業布局

 

 

 

 

雖然國內主要集中在初級階段，中低端應用。但從近幾年的發展來看，中國地區已經成為過去五年全球 MEMS 市場發展最快的地區。 2015 年，我國 MEMS 市場規模接近 300 億元，且連續兩年增幅高達 15%以上；而且從中長期來看
，國內 MEMS 行業的發展增速會快於國外

，到 2020 年
，我國傳感器市場增幅將進一步提升
，年平均增長率將達到 20%以上，繼續保持全球前列。

 

 

從國內市場來看，我國擁有全球規模最大的集成電路市場。蘋果
、三星、小米、華為、中興等手機品牌在中國設廠生產，加之汽車電子、物聯網、無人機、智能家庭等概念產品的逐步興起
，以及可穿戴設備的蓬勃發展
，國內市場對矽麥克風、加速度計、陀螺儀
、電子羅盤
、射頻儀器、高精度壓力傳感器、氣體傳感器等MEMS 器件的需求快速增長。

 

根據 SEMI的估計，中國市場在全球市場的占比將從2010年的 9.2%增長到 2015年占比 15.10%。

 

中國作為全球最大的電子產品生產基地，消耗了全球四分之一的MEMS器件
，吸引了全球的目光。

 

2015年全球MEMS企業30強

 

MEMS傳感器是屬於集成電路行業
，中央與地方政府開始著力扶持集成電路(芯片)產業，無論從資金規模還是扶持思路上都是空前的。

 

1. 3月5日
，國務院總理**在今年兩會上的政府工作報告中，首次提到集成電路(芯片)產業。

 

2. 3月4日
，上海市經信委則啟動了集成電路設計人員專項獎勵工作。此外，江蘇、深圳等省市可能都將在兩會後出台百億產業基金

，由政府牽頭，吸納社會資本。

 

3. 2014年6月，國務院印發《國家集成電路產業發展推進綱要》

 

4. 2014年4月23日國家成立了1200億元國家級芯片產業扶持基金。

 

本文來源於獵芯網。