第一款是ADI最近推出的針對助聽設計的業界最小MEMS麥克風ADMP801。與駐極體電容麥克風(ECM)等傳統解決方案相比，ADMP801不僅在尺寸上更小（僅7.3立方毫米），而且性能更穩定
，不隨時間、溫度和環境變化而改變。其等效輸入噪聲(EIN)低至27 dBA SPL（聲壓級），1 V電源下的功耗僅17 µA，是傳統ECM功耗的幾分之一。

ADMP801MEMS麥克風采用小型表貼封裝，尺寸僅3.35 mm x 2.50 mm x 0.98 mm，兼容回流焊工藝
，靈敏度不會降低。

                                   

ADI公司醫療保健部門副總裁Pat O’Doherty表示：“助聽應用是MEMS麥克風可以大顯身手的領域

，因為它具有小尺寸
、高穩定性和極低功耗等特性。然而，以前MEMS麥克風的EIN性能無法達到嚴格的助聽標準。ADMP801 MEMS麥克風的噪聲性能、封裝尺寸
、相位和增益穩定性完全滿足高級助聽應用要求，並集成了波束成形技術以幫助定位聲音源。”

ADMP801是一款高質量、超低功耗

、模擬輸出、底部收音式全向MEMS麥克風
，專門針對助聽應用而設計。它完全兼容貼片和回流工藝，允許利用機械化組裝工藝以節省成本；相比之下，ECM則要求手工組裝工藝。該器件具有出色的環境和時間穩定性
，多個ADMP801 MEMS麥克風可以配置為陣列

，形成定向響應，從而幫助定位聲音源。

ADMP801全向MEMS麥克風主要特性：1）麥克風EIN：27dBA SPL
，2）功耗：17µA (1V)；3）響應穩定
，不隨時間和溫度而變化；4）封裝體積：7.3立方毫米。

ADMP801目前已量產
，1K訂量時
，每片價格僅為10.78美元，

第二款是MEMS麥克風ADMP441，它是目前業界集成度最高的MEMS麥克風輸出。與典型的模擬輸出和數字PDM輸出的MEMS麥克風相比，ADMP441可直接提供I2S，無需音頻編碼器，即可和帶有I2S接口的DSP或微控製器對接，信噪比高達61dBA，頻率響應為60Hz-15kHz。它的目標市場：對PCB麵積和成本等均有較高要求的標準音頻采集。

第三款是MEMS加速度計ADXL362，它是目前業界最低功耗的加速度計
，1.8uA電流消耗@100Hz數據輸出速率，芯片待機功耗10nA。係統級低功耗設計，自主檢測運動與靜止狀態，無需處理器參與，集成1024字節FIFO，延長處理器休眠時間並準確記錄中斷前加速度變化。它的目標市場：紐扣電池供電或密封產品等對係統功耗有較高要求的應用。

第四款產品是MEMS陀螺儀ADXRS453，它采用四核差分傳感器結構，具有極高的振動抑製特性0.01°/sec/g, 出色的零偏穩定性16°/hour，內置全溫範圍溫度補償，支持3.3V和5V供電
，支持SOIC和創新的垂直LCC封裝以方便搭建正交係統。目標市場：在衝擊或振動等惡劣環境下的高性能平台穩定控製和導航。

10大常見問題與解答：（解答者：ADI MEMS FAE Neil Zhao）

Q: 加速度傳感器的測量範圍可達多少
，如何針對不同的應用來選擇
？
A: 目前的加速度傳感器測量範圍可以分為high g和low g兩種
，high g產品的測量範圍可達幾十甚至幾百g，比如ADXL377的測量範圍為200g，ADXL001的測量範圍可達500g。low g產品的測量範圍為幾個g或者十幾個g，比如ADXL362的測量範圍就是±2g/±4g/±8g可選的。對於靜態傾角檢測等應用
，1g-2g的測量範圍即可，比如量程為±1.2g的ADXL213或量程為±1.7g的ADXL203均廣泛應用於工業環境下的傾角檢測
；對於人體的運動監測
，像計步器等應用，2g-4g的測量範圍即可；但如果要監測衝擊或振動，像汽車的安全氣囊等應用，則需要上百g的測量範圍。當然，針對不同的產品設計和實際應用場景，隻有在實際測量後，才能確定準確的量程需求。

Q: MEMS傳感器能承受多大的機械衝擊
？
A: 一般MEMS傳感器都會在ABSOLUTE MAXIMUM RATINGS中給出這個指標，通常都在幾千甚至上萬g，比如ADXRS453可耐2000g的加速度衝擊，ADXL362可耐5000g的加速度衝擊，ADMP441可耐10, 000g的加速度衝擊。

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Q: MEMS傳感器能否在高溫條件下應用
？
A: 目前
，大部分MEMS傳感器最高隻能支持到125°C
，隻有加速度計ADXL206可以做到高溫175°C，MEMS陀螺儀和麥克風還沒有能達到這個溫度等級的器件，但隨著MEMS技術的發展
，會有越來越多的高溫高性能MEMS傳感器用於上天入地等高溫環境。

Q: 對於電壓輸出型的MEMS加速度計，其輸出電壓和加速度的對應關係是什麼？
A: 實際輸出電壓與加速度計的零偏和靈敏度有關
，假設加速度計的輸出為Vout (mV)，零偏為V0g (mV)，靈敏度為Sensitivity (mV/g)，則實際加速度為Acceleration (g) = (Vout – V0g) / Sensitivity

，一般加速度計的零偏為Vs/2。
以ADXL203為例
，在5V供電時
，零偏為2.5V
，靈敏度為1000mV/g，當X軸向上有+1g重力加速度時
，X軸輸出電壓為2.5V + 1V = 3.5V
，如果X軸上有-1g加速度
，則對應輸出為2.5V – 1V = 1.5V。
當然在供電電源變化時
，零偏和靈敏度都會發生變化，如ADXL203的供電電源為3V時
，對應的典型零偏為1.5V，典型靈敏度為560mV/g。

Q: 如何設定ADXRS6xx係列陀螺儀的帶寬?
A: ADXRS6xx係列陀螺儀的帶寬可以通過一個外接電容Cout來設定，截止頻率為。除此外，推薦再接一級RC低通濾波器，以衰減陀螺儀的十幾kHz高頻諧振頻率
，第二級濾波器的截止頻率可設定為第一級濾波器的5倍以上。

Q: 加速度傳感器的失調誤差是否需要校正？如果需要，如何校正？
A: 在係統應用中，失調誤差由加速度計本身的零偏誤差
、焊(han)接(jie)誤(wu)差(cha)和(he)裝(zhuang)配(pei)誤(wu)差(cha)造(zao)成(cheng)
，如(ru)果(guo)應(ying)用(yong)關(guan)心(xin)加(jia)速(su)度(du)的(de)絕(jue)對(dui)值(zhi)，比(bi)如(ru)傾(qing)角(jiao)測(ce)量(liang)
，則(ze)需(xu)要(yao)對(dui)係(xi)統(tong)的(de)失(shi)調(tiao)誤(wu)差(cha)進(jin)行(xing)校(xiao)正(zheng)。如(ru)果(guo)應(ying)用(yong)隻(zhi)關(guan)心(xin)加(jia)速(su)度(du)的(de)相(xiang)對(dui)值(zhi)，比(bi)如(ru)衝(chong)擊(ji)監(jian)測(ce)，則(ze)無(wu)需(xu)對(dui)係(xi)統(tong)的(de)失(shi)調(tiao)誤(wu)差(cha)進(jin)行(xing)校(xiao)正(zheng)。在(zai)校(xiao)正(zheng)失(shi)調(tiao)時(shi)，可(ke)以(yi)將(jiang)待(dai)校(xiao)正(zheng)軸(zhou)分(fen)別(bie)置(zhi)於(yu)+1g和-1g方向
，則失調Aoffset (g) = 0.5 x (A+1g + A-1g)。

Q: 為什麼說陀螺儀的抗振動抑製特性在係統應用中是最重要的？
A: 在談到陀螺儀時，常用的一個衡量指標是零偏穩定性: °/hr，danzaishijiyingyongchangjingzhong，xitongdouhuishoudaojiasududeyingxiang，jishimeiyoujixiezhendong，yeyouzhonglijiasududeyingxiang，suoyigongyeyongtuoluoyidouhuigeichuqishoujiasuduyingxiangdeshuchu: °/sec/g，以ADXRS453為例
，該指標為0.01°/sec/g，其零偏穩定性為16  °/hr。將其與其他高成本高零偏穩定性的陀螺儀進行對比，假設某個器件X零偏穩定性為5°/hr（戰術級陀螺儀），加速度響應輸出為0.1°/sec/g
，假設重力加速度對該軸的影響隻有10°的分量，也就是說重力加速度對該軸的影響為1g * sin10° = 0.17g，則ADXRS453與X的響應分別是0.0017°/sec和0.017°/sec
，轉換成°/hr，就是6.12°/hr Vs. 61.2°/hr。由於零偏穩定性和線性加速度的影響兩者不相關，所以可得在兩者影響下的平方根和誤差為17.13°/hr (ADXRS453) Vs. 61.4°/hr (X)。由此可見
，陀螺儀抗振動抑製指標的重要性。

Q: ADXL345和ADXL350的主要區別是什麼？
A: ADXL345是市場上非常流行的三軸數字輸出加速度計
，ADXL350是其下一代產品。與ADXL345相比
，ADXL350可以提供極好的溫漂特性
，以滿足在戶外等寬溫度範圍的應用場景
，不用花費大量的時間去做溫補校正，依然有穩定的零偏輸出
，且ADXL350的噪聲特性也優於ADXL345。

Q: 為什麼MEMS麥克風的信噪比非常重要？
A: jiaogaodexinzaobikeyiyunxumaikefengjiancedaogengxiaodeshengyashuiping
，huozheshuokeyijiancedaogengyuandeshengyin。yinweimaikefengzaiyinpinxinhaoliandezuiqianduan，suoyimaikefengzishendezaoshenghuiyingxiangzhenggexitong，yigedizaoshengdemaikefengkeyishihouxudexinhaolianchuligengjialinghuo，bingtigaozhenggexitongdexinzaobi。

Q: MEMS產品是否提供評估板及相應的評估軟件？
A: ADI的所有MEMS產品均提供相應的評估板，可以在ADI網站www.analog.com上輸入您關心的產品型號，而後查看評估板套件部分，即可知道有什麼評估方式可供選擇。以ADXL362為例，ADI提供三種評估板，分別是EVAL-ADXL362Z，EVAL-ADXL362Z-MLP和EVAL-ADXL362Z-DB。EVAL-ADXL362Z是將ADXL362焊接在一個小板子上
，而後將其引腳引出，方便用戶直接連接自己係統中的處理器
，進行評估使用；EVAL-ADXL362Z-MLP是由一個母板和一個子板（EVAL-ADXL362Z-S）組成，可以用來觀測和記錄ADXL362的實時輸出，各種工作模式下的功耗等
，且子板上提供一個ADXL362的插座
，這樣方便用一套評估係統來評估多顆器件的性能
；EVAL-ADXL362Z-DB是帶SD卡存儲器和eink顯示器的低功耗評估開發係統
，方便用戶在各種脫離PC的條件下
，實時記錄數據以作算法分析

，在算法完成後，可以通過評估板上的顯示器實時檢驗算法效果。

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