產品特性：

• 采用先進的微電子和微機械加工相結合的工藝技術
• 產品精度優於0.075%FS

應用範圍：

• 帶動了傳感器
  、變送器及相關儀表產業的發展

國機集團所屬沈陽儀表院承擔的沈陽市高新技術產業發展計劃項目“高性能矽電容壓力傳感器”近日順利通過驗收。

該項目采用先進的微電子和微機械加工相結合的工藝技術，在矽電容傳感器設計
、製造工藝技術
、chuanganqifengzhuangjiegoudengfangmianjuyouchuangxinxing，jiejueleguidianrongchuanganqiyanzhidegongyijishunanti
，kaifayanzhichuwanquanyongyouzizhuzhishichanquandexinxinggaoxingnengguidianrongchayachuanganqichanpin，chanpinjingduyouyu0.075%FS，技術水平達到國內領先
、國際一流。

項xiang目mu建jian成cheng了le年nian生sheng產chan能neng力li一yi萬wan台tai的de矽gui電dian容rong差cha壓ya傳chuan感gan器qi生sheng產chan線xian，實shi現xian了le產chan品pin的de係xi列lie化hua生sheng產chan，並bing首shou次ci實shi現xian智zhi能neng變bian送song器qi產chan品pin核he心xin傳chuan感gan器qi的de國guo產chan化hua配pei套tao，打da破po了le國guo外wai的de技ji術shu封feng鎖suo，填tian補bu了le國guo內nei空kong白bai。同tong時shi
，作zuo為wei上shang遊you核he心xin器qi件jian，該gai項xiang研yan究jiu帶dai動dong了le傳chuan感gan器qi、變送器及相關儀表產業的發展，解決了有表無芯的問題，有效地支撐了高端裝備製造產業鏈建設。