產品特性：

• 由檢測側滑的傳感器以及使各輪發生製動力的油壓單元構成
• 采用MEMS結構
• 抗振性將適應範圍擴大到了10kHz以下
• 采取了噪聲對策

適用範圍：

• 汽車

日立製作所和日立汽車係統（Hitachi Automotive Systems）於2009年10月宣布共同開發出了ESC（防側滑裝置）用傳感器（圖1）。該傳感器的特點是：提高了耐熱性及抗振性
，可與發動機室內的油壓單元一體化。包括組裝成本在內，成本有望比原來降低50％。預定2012年開始量產。 ESC的(de)係(xi)統(tong)由(you)檢(jian)測(ce)側(ce)滑(hua)的(de)傳(chuan)感(gan)器(qi)以(yi)及(ji)使(shi)各(ge)輪(lun)發(fa)生(sheng)製(zhi)動(dong)力(li)的(de)油(you)壓(ya)單(dan)元(yuan)構(gou)成(cheng)。現(xian)有(you)係(xi)統(tong)大(da)多(duo)在(zai)車(che)室(shi)內(nei)配(pei)置(zhi)傳(chuan)感(gan)器(qi)，這(zhe)時(shi)傳(chuan)感(gan)器(qi)到(dao)發(fa)動(dong)機(ji)室(shi)油(you)壓(ya)單(dan)元(yuan)是(shi)用(yong)電(dian)纜(lan)線(xian)連(lian)接(jie)的(de)。由(you)於(yu)電(dian)纜(lan)線(xian)的(de)成(cheng)本(ben)昂(ang)貴(gui)，因(yin)此(ci)ESC在降低係統成本方麵存在限製。

xinchuanganqiyouyutigaolenairexingjikangzhenxing

，yincikeyuyouyadanyuanyitihua。chulenenggoushengquchuanganqiyuyouyadanyuanjiandedianlanxianzhiwai，youyujianshaolezuzhuanggongxu
，haikejiangdichengben。baokuozuzhuanggongxuzainei，chuanganqidechengbenkejiangdi50％。

日立集團預計，以新興市場國家等為主要對象
，車輛的低成本化及ESC配備的義務化將呈現出全球擴大趨勢。新傳感器可使ESC輕鬆配備到低價位車輛上。美國已開始采取在2012年之前將ESC的配備分階段進行義務化的措施
，而且歐洲也展開了同樣的行動。

新開發的ESC傳感器采用MEMS結構

，可通過一個傳感器來檢測角速度（單軸）和加速度（前後左右雙軸）。耐熱性從可用於車內（-40～85℃）的水平提高到了可用於發動機室（-40～125 ℃）的水平。抗振性將適應範圍從原來的2kHz以下擴大到了10kHz以下。

新傳感器由MEMS中常見的固定部、可動部、連lian接jie固gu定ding部bu與yu可ke動dong部bu的de彈dan簧huang
，以yi及ji檢jian測ce可ke動dong部bu運yun動dong的de電dian極ji構gou成cheng。利li用yong電dian極ji靜jing電dian容rong量liang隨sui著zhe可ke動dong部bu的de運yun動dong而er發fa生sheng變bian化hua的de特te性xing來lai檢jian測ce角jiao速su度du和he加jia速su度du（圖2）。檢測角速度的電極隻有在彎道等使車輛轉向時才檢測信號。 新(xin)傳(chuan)感(gan)器(qi)由(you)於(yu)在(zai)發(fa)動(dong)機(ji)室(shi)中(zhong)使(shi)用(yong)
，因(yin)此(ci)包(bao)括(kuo)固(gu)定(ding)部(bu)在(zai)內(nei)的(de)底(di)板(ban)可(ke)會(hui)因(yin)為(wei)熱(re)膨(peng)脹(zhang)而(er)變(bian)形(xing)。為(wei)了(le)使(shi)固(gu)定(ding)部(bu)的(de)變(bian)形(xing)不(bu)會(hui)影(ying)響(xiang)到(dao)可(ke)動(dong)部(bu)的(de)運(yun)動(dong)


，在(zai)彈(dan)簧(huang)的(de)配(pei)置(zhi)上(shang)下(xia)了(le)工(gong)夫(fu)，不(bu)過(guo)日(ri)立(li)並(bing)未(wei)公(gong)布(bu)相(xiang)關(guan)細(xi)節(jie)。另(ling)外(wai)，為(wei)了(le)確(que)保(bao)抗(kang)振(zhen)動(dong)性(xing)，還(hai)采(cai)取(qu)了(le)噪(zao)聲(sheng)對(dui)策(ce)。為(wei)了(le)使(shi)發(fa)動(dong)機(ji)的(de)振(zhen)動(dong)不(bu)給(gei)傳(chuan)感(gan)器(qi)電(dian)極(ji)的(de)信(xin)號(hao)檢(jian)測(ce)造(zao)成(cheng)影(ying)響(xiang)，通(tong)過(guo)信(xin)號(hao)處(chu)理(li)去(qu)除(chu)了(le)與(yu)車(che)輛(liang)行(xing)駛(shi)無(wu)關(guan)的(de)約(yue)100Hz以上的噪聲。