【導讀】傅立葉分析可以將時域信號與頻域信號進行轉換。快速傅立葉變換（FFT）計算在獲取時間相關的直流信號（如電流、電壓）並將其轉換為頻率和基於交流的參數，如電流譜密度、1/f噪聲、熱噪聲和交流阻抗）時非常有用。源測量單元 （SMU）和脈衝測量單元（PMU）是4200A-SCS參數分析儀的模塊，用於在時域測量和加載輸出電流或電壓。儀器對這些基於時間的測量可以通過FFT計算轉換為頻域的參數。

傅立葉分析可以將時域信號與頻域信號進行轉換。快速傅立葉變換（FFT）計算在獲取時間相關的直流信號（如電流
、電壓）並將其轉換為頻率和基於交流的參數，如電流譜密度、1/f噪聲、熱噪聲和交流阻抗）時非常有用。源測量單元 （SMU）和脈衝測量單元（PMU）是4200A-SCS參數分析儀的模塊，用於在時域測量和加載輸出電流或電壓。儀器對這些基於時間的測量可以通過FFT計算轉換為頻域的參數。

從Clarius+ V1.9軟件發布開始
，4200A-SCS參數分析儀加載了FFT分fen析xi功gong能neng，能neng夠gou自zi動dong對dui時shi域yu測ce量liang進jin行xing基ji於yu頻pin率lv的de計ji算suan，而er無wu需xu下xia載zai數shu據ju並bing在zai單dan獨du的de工gong具ju中zhong執zhi行xing分fen析xi。並bing且qie能neng夠gou更geng快kuai地di獲huo得de重zhong要yao的de測ce試shi結jie果guo。本ben文wen給gei出chu了le這zhe些xie功gong能neng的de說shuo明ming以yi及jiFFT參數提取的一些典型案例，包括使用SMU和PMU進行電流譜密度測量，電阻熱噪聲測量以及RC電路的交流阻抗計算。

Clarius公式編輯器中的FFT相關功能

圖1. 在Clarius軟件的函數編輯器中的FFT功能

Clarius軟件有一個內置的公式編輯器，能夠對測試數據和其他計算結果進行數據計算。公式編輯器提供了各種計算函數、常用數學運算符和常用常量。從Clarius V1.9版本開始，FFT公式已添加到編編輯器中。圖1顯示了帶有FFT的函數編輯器的截圖。

表1列出了內置的FFT函數及其描述。這些方程對輸入數組的實部和虛部行FFT變換或FFTnibianhuan，ranhouhuodeduiyingdeshuchushibuhuoxubufenliang。qizhonglianggegongshicongshurushijianshuzufanhuipinlvshuzu。pinghuahanshutongguojianggaopinfenliangguiling，duishurushuzujinxingshuzilvbo。

表1. FFT公式和描述

在使用FFT公式時
，最好以均勻間隔的時間間隔獲取數據。當將時間數組轉換為頻率數組時，FFT_Freq函數允許用戶輸入一個容差參數，以確定連續間隔的時間數據是否均勻間隔。如果輸入時間數組中兩點之間的差值（以百分比表示）大於容差值
，則會將“#REF”返回到Sheet。

計算出的實部和虛部數據數組的輸出數據量將是2的冪次方。因此,理想的采集數據點數應該是2的冪次方
，比如64、128、256、512
、1024等。如果數據點的數量不是2的冪次方，則返回的點數將被減少，使其等於2的冪次方。Clarius庫中的多個測試，包含了使用FFT公式將基於時間的電流或電壓測量轉換為頻率相關參數的示例。這些例子包括SMU電流譜密度
、電阻器的熱噪聲、PMU電流譜密度和RC電路的交流阻抗。

SMU電流譜密度與頻率測量

Clarius庫中的SMU電流譜密度（smu-isd）測試，使用SMU進jin行xing的de隨sui時shi間jian變bian化hua的de直zhi流liu電dian流liu測ce量liang，從cong中zhong得de出chu電dian流liu譜pu密mi度du與yu頻pin率lv的de相xiang關guan函han數shu。根gen據ju設she備bei和he應ying用yong的de不bu同tong，該gai測ce試shi可ke能neng能neng夠gou用yong於yu導dao出chu包bao括kuo設she備bei的de電dian流liu噪zao聲sheng，1/f 噪聲。

圖2. smu-isd 測試公式

在本測試中，4201-SMU使用Normal速度模式，在三個不同的電流範圍 (1mA
，1µA和1nA) 下，測試開路的直流電流與時間關係。SMU的Force HI和Sense HI端子上需要加蓋金屬帽。FFT函數將會導出電流
、功率、頻率、帶寬和電流譜密度的實分量和虛分量，如圖2所示。

圖3. SMU不同檔位的電流譜密度與頻率

三次測試運行得到的電流譜密度與頻率曲線如圖3所示。因為測量的是用開路的電流
，所以基本上是推導出來的是SMU的本底噪聲。頻率會根據定時設置而發生變化。

這些圖表顯示的是電流噪聲譜密度
，以 A/sqrt(Hz) 為單位，而不是以單次，安培為單位，直流測量的噪聲。從快速傅立葉變換的數學表達式來看，電流頻譜密度在這裏定義為：

ISD = sqrt(2*PWR/(PTS*BW))

其中
，PWR是電流幅度的平方
，或者PWR= Im(I)^2 + Re(I)^2；BW是時間采樣的帶寬；PTS是點數
，它應該是2的冪次方。帶寬 (BW) 定義為1/dt
，其中dt為兩次測量之間的時間間隔，假設所有測量之間的時間間隔為恒定值。

測量速度在測試設置窗口中配置。雖然不能直接設置測量時間間隔，但測量時間、帶寬和測試頻率都是已知的，並會返回到列表中。在設置speed模(mo)式(shi)時(shi)，通(tong)常(chang)需(xu)要(yao)在(zai)每(mei)個(ge)單(dan)次(ci)直(zhi)流(liu)測(ce)量(liang)的(de)速(su)度(du)和(he)噪(zao)聲(sheng)之(zhi)間(jian)進(jin)行(xing)權(quan)衡(heng)。測(ce)量(liang)速(su)度(du)越(yue)快(kuai)，噪(zao)聲(sheng)就(jiu)越(yue)大(da)。對(dui)於(yu)總(zong)測(ce)試(shi)時(shi)間(jian)較(jiao)長(chang)的(de)測(ce)量(liang)
，帶(dai)寬(kuan)較(jiao)小(xiao)，因(yin)此(ci)噪(zao)聲(sheng)也(ye)較(jiao)小(xiao)。

本ben測ce試shi中zhong的de測ce量liang是shi在zai固gu定ding的de電dian流liu量liang程cheng上shang進jin行xing的de。使shi用yong固gu定ding量liang程cheng，而er不bu是shi自zi動dong量liang程cheng，這zhe對dui於yu保bao持chi每mei個ge讀du數shu的de測ce量liang時shi間jian恒heng定ding是shi非fei常chang重zhong要yao的de，這zhe是shiFFT計算所需要的。之所以使用sampling測試模式，是因為加載了一個恒定的偏置。在該模式下
，必須輸入讀數的個數。盡管在使用FFT計算時需要大量的讀數，但這並不實用。在這個測試中，讀取了1024個讀數
，因為1024是2的冪次方。表2列出了SMU電流譜密度測試的公式。

表2. SMU電流譜密度測試公式

電阻的熱噪聲

電阻的熱噪聲或約翰遜噪聲可以通過電阻上的直流電壓與時間的測量來計算。測試庫中的resistor-noise測試項測量0A的直流電壓與時間的函數，並計算在1GΩ電阻上的實部和虛部的電壓數組、功率、頻率
、帶寬和電壓譜密度。電阻於SMU1和GNDU之間。一旦執行測試，熱噪聲（VSD）被繪製為頻率的函數，如圖4所示。

圖4. 1GΩ電阻的熱噪聲

在這個測試中，直流電壓測量是在200mV 量程上進行的，在1nA量程上施加0A。計算1GΩ電阻的噪聲電流和約翰遜噪聲。1GΩ電阻的熱噪聲理論計算值約為4E-6Vrms，使用公式：vn=sqrt(4*k*TEMP* 1e9)。電阻器熱功率噪聲的實際公式為：

P=4*k*TEMP*BW

其中，k為玻爾茲曼常數，1.38 E-23 J/K
，TEMP為環境溫度 (K)，BW為帶寬 (Hz)。

表3列出了resistor-noise測試的公式描述。時間、量程、點數和其他設置的信息與導出SMU電流譜密度的描述類似。

表3. 電阻熱噪聲測試相關公式

使用PMU獲取電流譜密度

圖5. pmu-isd測試配置視圖

和SMU一樣，4225-PMU的電流譜密度也可以通過電流和時間的測量以及FFT計算得出。在測試庫中可以找到pmu-isd
，在100μA和100nA範圍內測試計算 PMU 開路的電流譜密度。這個測試是通過使用PMU_freq_time_ulib用戶庫中的PMU_sampleRate用戶模塊生成的。使用PMU測試，我們可以在CH1和CH2上加載電壓偏置，選擇CH2的電流範圍，並指定總測試時間和采樣率。pmu-isd測試的配置如圖5所示。

與 SMU 電流譜密度測試一樣，公式編輯器有幾個公式可以推導出測試電流的帶寬、實部分量和虛部分量、功率
、頻率和電流譜密度。圖6顯示了100µA和100nA檔位下電流譜密度與頻率的函數曲線。由於數據是用開路采集的，因此這些是在固定電流量程上以可選采樣率測量到的PMU本底噪聲。

圖6. PMU電流譜密度

在configure視圖中
，輸入總測試時間和采樣率。點數等於總測試時間乘以采樣率。選擇輸入參數，由於將對數據執行FFT計算，使點數總數為2的幕次方。為了獲得最佳的結果
，至少應該使用20個點或更多。對於本次測試，帶寬設置為1024HZ。

表4. PMU譜密度測試相關公式

測定RC串聯電路的交流阻抗

使用雙通道4225-PMU結合內置的FFT計算公式

，可以提取RC電路的AC阻抗參數。PMU在時域測量電流和電壓，Clarius公式編輯器中的FFT通過計算將這些測試結果轉換為頻域的相關參數。

例如，可以在PMU的CH1和CH2之間連接串聯 RC電路，如圖7所示。CH1輸出周期性脈衝波形 (ACV)，CH2測量產生的電流 (imeas)。通過 FFT 計算得到測試電路的AC阻抗參數，如串聯電阻(Rs)和電抗 (Xs)
，以及阻抗的實部和虛部。電容(Cs)和耗散因子(D)可以用Rs和Xs推導出來。

圖7. 用於測量串聯RC電路AC阻抗的PMU連接

R-C Circuit AC Impedance Calculations (rs-cs-ac-impedance) 測試項，包含RC串聯電路的AC參數。在這個測試示例中，PMU的CH1輸出一個具有指定幅度和測試頻率的脈衝波形。還指定了周期數和每個周期上的測試點數。在公式編輯器中配置計算，以提取100kΩ，10nF
，R-C串聯電路的AC阻抗參數。此測試的配置如圖8所示。

圖8. rs-cs-ac-impedance測試的配置視圖

在此測試中，在配置視圖中輸入CH1的電壓脈衝幅值 (ACV)、CH2的電流測量範圍 (irange)
、測試頻率 (FREQ)、2^n個周期和2^n個點。表5列出了本次測試的輸入參數。基於這些輸入參數，PMU構建具有電流測量值的電壓段波形。

表5. rs-cs-ac-immpedance測試輸入參數

在對周期信號進行FFT計算時，通常需要大量的周期然而，獲取大量數據通常是不現實的。為了確保足夠的精度
，至少需要測試32(2^5)個周期，每個周期有32(2^5)個數據點。在rs-cs-ac-impedance測試中,周期數和每個周期的點數都是 32。

如果想同時提取串聯電阻(RS)和電容(Cs)，最好選擇近似為：F=1/RC的測試頻率。不過，這可能需要些實驗。通常在測量電容或電阻之間需要進行權衡。更精確的電容測量需要更小的係數D
，D

一旦執行測試，返回到 Sheet相等的點數可以通過以下公式計算:

每次測試的總點數=循環次數 x 每個循環的點數

對於本次測試，總點數=32x32=1024。CH1上的測量脈衝電壓(vforce)，CH2的電壓(vlow)
，時間和 CH2上的測量電流(imeas)的數組返回到表中。輸出參數的描述參考在表6。從返回值中，可以提取許多AC參數。對於本次測試
，RC串聯電路的所有計算參數如表7所示。

表6. rs-cs-ac-impedance測試輸出參數

表7. 計算參數

所有輸出和計算參數也返回到列表中，並在Analyze視圖中繪製圖形
，如圖9所示。數據可以在時域和頻域上繪製
，左圖為電壓和電流隨時間變化的函數曲線
，右圖為電壓 (VPWR) 和電流 (IPWR) 幅值的平方的數組與頻率的函數曲線。導出主諧波頻率處的Cs、Rs和D，並出現在表格的最後三列中。rs-cs-ac-impedance測試項使用PMU_freq_time_ulib用戶庫中的pmu_waveform用戶模塊。此用戶模塊還可用於執行其他需要的特定測試頻率脈衝波形的測試。

圖9. 將數據在時域和頻域進行繪製

4200A-SCS參數分析儀對直流電流和電壓測量執行FFT計算的能力使許多AC參數的提取成為可能
，包括電流譜密度、熱噪聲和AC阻抗。

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